多晶硅碰壁檢測(cè)技術(shù)研究.pdf

1、多晶硅碰壁檢測(cè)儀表是生產(chǎn)多晶硅提純生產(chǎn)線中的一個(gè)裝置，它屬于調(diào)壓柜的一部分，硅在高溫下可以提純?yōu)槎嗑Ч?，這個(gè)過(guò)程中，由于時(shí)間過(guò)長(zhǎng)硅棒會(huì)變軟，彎曲，可能會(huì)碰到爐壁，而爐壁的耐熱溫度低于硅棒自身的溫度，時(shí)間過(guò)長(zhǎng)硅棒就會(huì)將爐壁燒壞，這樣爐內(nèi)的有毒氣體就會(huì)外逸，造成人員傷亡，這種情況是非常危險(xiǎn)的。目前國(guó)內(nèi)還沒(méi)有能夠檢測(cè)出多晶硅碰壁的裝置，只能通過(guò)人工看守。 多晶硅碰壁檢測(cè)儀表主要功能就是為了解決國(guó)內(nèi)的這個(gè)問(wèn)題，當(dāng)硅棒受熱彎曲碰到爐壁時(shí)，

2、能夠及時(shí)報(bào)警，進(jìn)行相應(yīng)的處理。所以，研制出多晶硅檢測(cè)儀表在國(guó)內(nèi)有著重大的意義。單晶硅兩端加高壓，爐壁與大地連接，同時(shí)將檢測(cè)儀表外接在爐子外部，當(dāng)硅棒碰到爐壁時(shí)，會(huì)產(chǎn)生電流，而外接檢測(cè)儀表本身也有一個(gè)電源裝置，硅棒碰壁時(shí)也產(chǎn)生電流，兩者電流疊加會(huì)產(chǎn)生更大的電流，將電流通過(guò)功率放大裝置放大，經(jīng)過(guò)采樣裝置將電流信號(hào)采集出來(lái)，再通過(guò)濾波裝置消除其它無(wú)用的諧波，最后用比較裝置判斷信號(hào)是否滿足碰壁的要求，如果滿足碰壁條件，報(bào)警裝置就會(huì)發(fā)出信號(hào)，進(jìn)行