硅基MEMS濾波器的特性研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩62頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、隨著微電子機械系統（MEMS）的迅速發(fā)展，硅基MEMS濾波器的研究制作逐漸受到學者的高度重視，因為其蘊藏著巨大的市場潛力因此受到學術界的廣泛關注。傳統的微波濾波器經常因體積較大、不易集成而難以達到技術指標的要求，單片式硅基MEMS濾波器具有體積小、重量輕、插損小、易于集成等優(yōu)點，是實現RF系統小型化集成化的重要途徑。本論文中設計的硅基MEMS濾波器創(chuàng)新性主要體現在SIW技術與硅微技術的結合，采用ICP深刻蝕微機械通孔陣列技術形成硅基襯底

2、的等效金屬壁，SIR帶線上打入金屬通孔而實現諧振結構，輸入輸出采用共面波導CPW形式，仿真結果表明此濾波器具有體積小、插損低、抑制較好及遠寄生的濾波特性。
　　論文還設計了C波段孔耦合微帶帶通濾波器，介質基板上層是微帶信號線下層是接地金屬層，由于感性通孔的數量和孔間距的不同可以形成不同長度的諧振腔，文中分別設計了三階和四階帶通濾波器，依據E面膜片加載和感性通孔的等效分析理論對模型進行了詳細分析，此模型的優(yōu)勢在于結構簡單、加工方便、

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論