固結(jié)磨料研磨拋光墊基體的砂漿磨損特性研究.pdf

1、在化學(xué)機(jī)械研磨拋光（CMP）行業(yè)，固結(jié)磨料研磨拋光墊（FAP）由于諸多優(yōu)勢成為該領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)，為了不斷提高加工效率，改善加工效果，人們開展了關(guān)于FAP性能評價(jià)的研究。本文利用砂漿磨損實(shí)驗(yàn)?zāi)M真實(shí)加工環(huán)境下FAP樹脂基體受廢屑沖蝕磨損的情形，提出砂漿磨損率評價(jià)指標(biāo)表征樹脂基體的砂漿磨損特性。主要完成的工作有：
　　1、開展了砂漿磨損實(shí)驗(yàn)可行性分析。設(shè)計(jì)了砂漿磨損實(shí)驗(yàn)裝置，提出砂漿磨損率評價(jià)指標(biāo)并解釋了其含義及計(jì)算公式。采用格拉布斯

2、判定法則對數(shù)據(jù)結(jié)果進(jìn)行修正，利用重復(fù)性實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證結(jié)果的穩(wěn)定性：同組別實(shí)驗(yàn)不同樣片之間重復(fù)性誤差小于5％，而不同組別實(shí)驗(yàn)之間的相對誤差為4.7%。
　　2、基于FLUENT對砂漿流場進(jìn)行了仿真?？疾炝四チ７N類、粒徑、濃度及攪拌轉(zhuǎn)速4方面因素對于測試樣片區(qū)域處流場的影響。結(jié)果顯示：磨粒的運(yùn)動(dòng)速度隨著磨粒粒徑、磨粒密度以及砂漿濃度的增大而減小，隨著攪拌轉(zhuǎn)速的增加而增大；磨粒粒徑越小，磨粒密度越低，砂漿濃度越小，攪拌速度越大，濃度分布越均勻

3、。
　　3、研究了實(shí)驗(yàn)條件對砂漿磨損特性的影響。通過正交實(shí)驗(yàn)考察了不同因素水平下樣片的砂漿磨損率，結(jié)果顯示：砂漿磨損率隨著攪拌轉(zhuǎn)速、砂漿濃度以及砂漿溫度的提高而提高，隨著磨粒密度和粒徑的增加而呈現(xiàn)出非線性的變化。攪拌轉(zhuǎn)速、磨粒的種類對于結(jié)果影響的顯著性最強(qiáng)，磨粒粒徑、砂漿濃度對于結(jié)果影響的顯著性次之，而砂漿溫度及溶液的PH值影響的顯著性最小。
　　4、研究樹脂性能對于砂漿磨損特性的影響?？疾炝瞬煌瑪[式硬度、溶脹率以及加入不同

4、添加料樹脂基體的砂漿磨損特性，結(jié)果顯示砂漿磨損率隨著擺式硬度的增加而下降，隨著溶脹率的增加而增加，而添加青銅粉、SiC可以增強(qiáng)樹脂基體的耐沖蝕磨損性能，降低砂漿磨損率，這種增強(qiáng)效果隨著添加比例的增加而增加，同時(shí)青銅粉的增強(qiáng)效果要優(yōu)于SiC。
　　5、探索了樹脂基體砂漿磨損特性與自修整性的關(guān)系。向研磨液中添加不同比例的三乙醇胺，考察相應(yīng)條件下含銅粉親水性固結(jié)磨料研磨墊的材料去除率，通過去除率的變化探索研磨墊的自修整過程，結(jié)合砂漿磨損