固結(jié)磨料研磨拋光墊磨粒保持性能研究.pdf

1、磨粒與粘結(jié)劑之間的結(jié)合力對固結(jié)磨料研磨拋光墊（fixed abrasives pad,FAP）的加工性能有重要影響，本文從磨粒表面改性和材料特性兩個方面研究了其對FAP的磨粒保持性能和自修正性能的影響，設(shè)計了一種數(shù)字圖像處理系統(tǒng)檢測FAP的磨粒保持性能。本文所完成的主要工作如下：
　　1.FAP磨粒保持性能檢測。設(shè)計FAP表面圖像處理系統(tǒng)，通過提高顯微鏡的放大倍數(shù)和規(guī)范拍攝取點位置，解決了固結(jié)磨料研磨拋光墊表面金剛石數(shù)量拍攝不完整

2、和檢測結(jié)果不確定的問題；三種金剛石識別方法(RGB識別、閾值、邊緣檢測)中，RGB識別與閾值法對圖像中的金剛石誤識別少，且識別后產(chǎn)生的干擾也較少。提出兩個指標：金剛石個數(shù)與金剛石所占FAP的面積比，評價FAP的磨粒保持性能。
　　2.探索金剛石表面改性對FAP加工性能的影響。研究了包覆金剛石的磨粒濃度、包覆前后金剛石形貌、包覆比例和熱處理工藝對FAP加工性能的影響。研究表明：隨著包覆比例的提高，氧化鎳包覆層的結(jié)構(gòu)逐漸復(fù)雜化。包覆比

3、例為30％時，包覆層表面形成復(fù)雜的球狀凸起與蜂窩網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，提高金剛石的表面粗糙度增加金剛石與樹脂之間的結(jié)合力；其材料去除速率與熱處理修改之前相比提高了2.4倍。
　　3.探索材料特性對FAP加工性能的影響。研究了K9玻璃和硅片兩種加工材料不同加工順序下研磨過程中的聲發(fā)射信號、摩擦系數(shù)和磨屑特征。結(jié)果表明：不同加工順序下工件的材料去除率差別很大。與直接研磨硅片相比，先加工K9玻璃再加工硅片，硅片的材料去除率出現(xiàn)大幅下降。無論哪種順序