微懸臂梁的激勵與動態(tài)特性研究.pdf

1、微米尺寸結構應用廣泛，非常規(guī)的使用環(huán)境對其動態(tài)特性要求比宏觀結構高，依然采用宏觀結構測振系統(tǒng)無法滿足對微小結構的有效激勵與測振。針對實際測試需求，本文搭建了以壓電底座激勵和多普勒激光技術相結合的微結構測試系統(tǒng)，實現微懸臂梁前七階固有振動的有效激勵和模態(tài)參數的提取，探究微懸臂梁不同區(qū)段厚度變化對動態(tài)特性的影響。論文工作如下：
　　（1）對微結構激勵方法、振動檢測技術及試驗模態(tài)估計方法進行了綜述，對基于壓電陶瓷的激勵方式與多普勒測振原

2、理進行了詳細介紹，并完成了測振系統(tǒng)中的各部分選型和整體搭建。設計了微懸臂梁對比實驗并選擇可行的尺寸控制方法，有限元方法計算出固有頻率受厚度尺寸的影響，仿真證明了寬度方向的尺寸微小變化對測試結果的影響可以忽略。
　　（2）建立了微懸臂梁頻響函數測試誤差模型，選擇了合理頻響估計。采用快速正弦掃描激勵，完成了微懸臂梁振動測試，由頻響函數計算出脈沖響應，引入最小二乘復指數法進行模態(tài)分析，建立了極點穩(wěn)態(tài)圖，并依據模態(tài)判斷準則合理挑選出極點，