塵埃等離子體中有兩種塵埃粒子時(shí)的空洞形成.pdf_第1頁(yè)
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1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文塵埃等離子體中有兩種塵埃粒子時(shí)的空洞形成姓名：宋巖申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：等離子體物理指導(dǎo)教師：劉悅20080603塵埃等離子體中有兩種塵埃粒子時(shí)的空洞形成DustVoidFormationinDustyPlasmaswithTwoSizesofDustGrainsAbstractChargeddustgrainsexistwidelyinspace，plasmaequipmentsinlaboratoryasw

2、ellasplasmaprocessingDustplasmacomposedoftheinteractionsbetweendustgrahasandplasmasIthadbecomeallimportantPhysicsofPlasma’Sembranchmentinrecentyearswhenitisrecognizedasaseriousproblemintheprocessingofsemiconductorintegra

3、tedcircuitThedustvoidusuallyisacentimetersizeregioncompletelyfreeofdust，oneimportantcharacterisitssharpboundary、^，itllsurroundingplasmaResearchershaveobservedthespontaneousformofdustvoidsinlaboratoryexperimentandprocessi

4、nginmicroelectronicsInorderteducethestainfordustgrainsandensuremicroelectronicprocessingtobeperformedeffectivelyitisneededtesearchthemechanismofformationofdustvoidsincomplexplasmas，especiallytheconditionofthesystemcompri

5、singtwovarioussizesofdustgrainsInthispaper，thesystemismadeupoftwovarioussizesofdustparticlesItCanrepresentothersystemswimmultisizesdustparticles們1enonlinearphaseoftheinstabilityincomplexplasmaisresearchednumericallyincyl

6、indricalcoordinateOurnumericalsimulatingresultsshowthatthesmallerparticlesfirstlyformitsvoidstructureTllisformationprocessisthesameasthatinthesinglegrain’SsizecaseWhenthesmallerdustvoidissaturated，thewholesystemreachesas

7、teadystateapproximatelyWefmdthatthebiggerdustgrainske印movingoutwardsthoughthesmallerdustgrainshaveformedthevoidstructureFinallythebiggerdustgrainsarepushedoutandareseparatedformthesmalldustvoidstructureThispapercontainst

8、hefollowingthreeparts：Inthefirstchaptertheconceptionandclassifyaboutplasmaareintroducedbfieflgandthenwerecounttheconception，researchfulmethods，developmentofresearchandSOon，onthedustplasmaSecondlywesetouttheconceptionofDu

9、stvoidandtheforcesondustgrainsinplasmaAlsowepresentpursuitsabouttheformationofdustvoidsinexperimentandtheoreticFinallyinonedimensionalcylindricalundertheaxisymmetryassumption，themathematicalevolutionmodelofnonlinearinsta

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