通過(guò)全光譜擬合法確定薄膜光學(xué)常數(shù)和厚度.pdf

1、隨著薄膜及薄膜器件在科研和實(shí)際應(yīng)用中的普及，簡(jiǎn)單而精確地測(cè)量薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度成為一個(gè)重要的課題。本文介紹了應(yīng)用全光譜擬合進(jìn)行薄膜參數(shù)測(cè)量的方法，詳細(xì)描述了幾種常用的全局搜索優(yōu)化算法應(yīng)用于薄膜測(cè)量的原理要點(diǎn)、難點(diǎn)和設(shè)計(jì)思路，并通過(guò)程序設(shè)計(jì)對(duì)該方法進(jìn)行測(cè)試和改進(jìn)。 全光譜擬合法測(cè)量光學(xué)薄膜的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)主要由光源、光譜儀、光學(xué)探頭和計(jì)算機(jī)等組成。應(yīng)用全局搜索優(yōu)化算法的思想編寫(xiě)程序軟件，實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)采集到的不同薄膜的全光譜透過(guò)率/反射率

2、曲線(xiàn)的擬合，并在擬合完成時(shí)尋優(yōu)獲得待測(cè)薄膜的厚度、折射率和消光系數(shù)等光學(xué)參數(shù)的解。 在實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)過(guò)程中，充分利用不同優(yōu)化算法的特性進(jìn)行嘗試和改進(jìn)，尋找適合全光譜擬合法測(cè)量光學(xué)薄膜這一具體模型的搜索算法。通過(guò)對(duì)幾種不同類(lèi)型的光學(xué)薄膜進(jìn)行測(cè)量計(jì)算，得出它們?cè)谌庾V范圍的擬合結(jié)果和相應(yīng)的各個(gè)光學(xué)參數(shù)解，對(duì)比不同算法在優(yōu)化效率和精度上的差別，從而闡述全光譜擬合法的適用性和應(yīng)用前景。 本課題完成了全光譜擬合法中自適應(yīng)模擬退火算法、自