基于橢偏光譜儀的石英晶體參數研究.pdf

1、隨著橢偏光譜測量技術的不斷發(fā)展,橢偏光譜儀作為一種測量工具已經被廣泛的應用于測量薄膜材料和塊狀材料的光學參數。橢偏光譜測量技術與傳統(tǒng)的偏光測量技術相比具有測量速度快、測量精度高、數據測量重復率高、不用與樣品接觸對樣品造成的破壞性最小等特點。利用橢偏光譜儀可以快速得到從紅外、可見光到紫外光的寬波段內D和Y各自隨波長變化的色散曲線,光學材料或器件的很多光學參數都間接的與 D和 Y有一定的關系,通過對D和Y圖譜的分析可以得到樣品一系列的參數例

2、如:薄膜厚度,復合膜中各成分的組分,介電常數,晶體雙折射率等。石英晶體是常用的光學晶體材料,常用于制造波片、棱鏡等與位相、偏振等相關的光學元器件,因而石英晶體以及由其制成的光學器件的光學參數的精密測量具有重要的現實意義。
　　本文從以下幾個方面展開研究:
　　首先,橢偏光譜儀可以直接、快速的給出偏振光通過樣品作用后 P、S兩方向偏振光位相差,我們用瓊斯矩陣對這一過程進行分析,找到一種快速、準確判斷石英波片光軸方向的新方法。<