基于干涉曝光技術的LSPR生化傳感芯片的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、局域表面等離子體共振(Localized Surface Plasmon Resonance，LSPR)是由于光波激發(fā)導致貴金屬體內自由電子發(fā)生共振的現(xiàn)象。當入射光照射到金屬表面，光波的頻率與金屬納米結構的電子頻率相同時，會使金屬表面電荷振蕩。此時金屬納米結構表面的電磁場會極大地增強，使金屬納米結構對其表面附近的物質折射率變化十分敏感。如果將待檢測物修飾在金屬納米結構表面，就能夠通過測試光譜的變化對待測物進行傳感檢測。
　　為了制

2、備納米圖形結構，本文搭建了一套勞厄德(Lloyd)干涉曝光系統(tǒng)，成功在2×2cm2的導電玻璃以及硅片襯底上制備出了納米光柵、點陣以及孔陣等結構。隨后通過電子束蒸發(fā)，金屬剝離(lift-off)等工藝制作出傳感性能優(yōu)異的金屬納米結構，為傳感芯片的制備提供了前提條件。
　　本文通過FDTD Solutions軟件對制備的金屬納米結構進行仿真，分析了金屬納米顆粒的形狀、尺寸以及材料等因素對傳感特性的影響。模擬了不同大小的金納米點陣在不同

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