軟X射線聚焦波帶片研究.pdf

1、中國科學技術大學博士學位論文軟X射線聚焦波帶片研究姓名：肖凱申請學位級別：博士專業(yè)：核技術及應用指導教師：付紹軍20060401中國科學技術大學博士學位論文肖凱摘要很好，所以應力匹配更加容易，結合我們研制的軟X射線聚焦波帶片圖形最外環(huán)線條高寬比較小的特點，采用同步輻射光刻離子束刻蝕的工藝路線研制了以聚酰亞胺為襯底的Ni和Ge位相型波帶片。相對衍射效率的檢測。通過直接比較位相型波帶片和振幅型波帶片的一級衍射光通量的方法得到了位相型波帶片效

2、率與振幅型波帶片效率的比值，檢測了位相型波帶片和振幅型波帶片的相對衍射特性。在32nm波段，Ge和Ni波帶片的實驗平均相對效率分別為126和16，與理論值相對效率比134和177比較接近，表明使用位相型材料可以提高波帶片的衍射效率，制作的聚焦波帶片精度較好。四種制作誤差的誤差分析。利用復振幅疊加法和圓環(huán)衍射場疊加法模擬了隨機環(huán)帶位置誤差、隨機寬度誤差、擴散和粗糙度對x射線波帶片的效率和分辨率的影響，利用Strehl極限可以定量地確定這幾