溶膠凝膠技術制備鈦酸鍶鋇系列鐵電薄膜及其性能研究.pdf

1、p7，f大學碩士學位論文溶膠凝肢技術制備題目煞熊照塑疊到叢量蒸照墨甚些鰉壁蘊作者左盤完成日期2Q業(yè)生旦!!墮培養(yǎng)單位墮!!l蠡生指導教師盎生冒筮燕專業(yè)越盤鹽墨盞焦生研冗方向盒墊蜘鏈幽搬授予學位日期——年月——日5利用AFM分析測試方法分析了BST系列薄膜的表面形貌，發(fā)現(xiàn)BST系列薄膜表面平整、光滑、致密，晶粒發(fā)育較好，大小均勻。薄膜的表面形貌與退火溫度有一定關系。晶粒大小隨著退火溫度的升高而變大，同時表面的均方根粗糙度也隨著退火溫度的升

2、高而變大。BST系列薄膜的晶粒平均大小在50～75nm之間，薄膜的均方根粗糙度在3～65nm之間。發(fā)現(xiàn)摻入鉍后，BST薄膜的晶粒變得細小，BST薄膜表面變得更加光滑，均方根粗糙度明顯降低。6XPS分析表明，采用本文溶膠一凝膠工藝所制備的BST、BST：Bi薄膜中Ba、Sr、Ti、O、Bi五種元素均以鈣鈦礦結構中各元素相應的化學態(tài)存在。XPS分析BST薄膜中各元素的結合能表明，鉍摻入BST薄膜中，使BST薄膜中的鋇的結合能升高。摻鉍1mo