太陽(yáng)電池工藝文件

1、太陽(yáng)電池工藝文件太陽(yáng)電池工藝文件1太陽(yáng)電池工藝文件太陽(yáng)電池工藝文件單晶硅片清洗工藝單晶硅片清洗工藝1.插片：1)主要原材料：?合格品單晶硅片2)工裝、設(shè)備?承片盒?清洗花籃3)工藝過(guò)程（右手操作）?每個(gè)承片盒插片25片。插片過(guò)程中對(duì)硅片進(jìn)行檢驗(yàn)，不合格硅片挑出。然后，每個(gè)清洗花籃中放置34個(gè)插片后的承片盒。2.超聲清洗：1)主要原材料：?油污比較嚴(yán)重的硅片?清洗劑?自來(lái)水2)工裝、設(shè)備?超聲波清洗機(jī)?承片盒?清洗花籃3)工藝過(guò)程（右手操

2、作）?表面油污比較嚴(yán)重的硅片，需要在2—5%清洗劑40℃的水溶液中，利用超聲波震蕩清洗15min。清洗功率和超聲頻率根據(jù)使用的設(shè)備調(diào)整。清洗液可以反復(fù)使用。?經(jīng)過(guò)清洗液超聲的硅片，轉(zhuǎn)移到清洗槽中，使用大量的自來(lái)水沖洗超聲后的硅片，直至無(wú)清洗液。3.3.八槽清洗機(jī)清洗八槽清洗機(jī)清洗1)主要原材料：?清潔的硅片?NaOH?自來(lái)水太陽(yáng)電池工藝文件太陽(yáng)電池工藝文件3離子水溶液，5min。?去除酸溶液：6槽清洗機(jī)中的第五槽，流動(dòng)去離子水清洗，3m

3、in。?噴淋：6槽清洗機(jī)中的第六槽，去離子水噴淋8min。5.甩干：1)主要原材料：?清洗的硅片2)工裝、設(shè)備?甩干機(jī)?承片盒3)工藝過(guò)程（右手操作）?將承片盒裝入甩干機(jī)的卡槽內(nèi)，依據(jù)甩干機(jī)的操作說(shuō)明甩干硅片。?將甩干后的硅片，連同承片盒一起送入密閉擴(kuò)散間的轉(zhuǎn)移窗口，等待擴(kuò)散。6.絨面的檢驗(yàn)：1)主要原材料：?甩干的硅片2)工裝、設(shè)備?顯微鏡3)工藝過(guò)程（右手操作）?目視硅片表面呈均勻的灰黑色，沒(méi)有明顯的斑點(diǎn)。顯微鏡下，金字塔形貌均勻，