24141.高性能193nm光學(xué)薄膜的制備與性能研究

1、中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所博士學(xué)位論文2014年05月致謝韶華匆逝，倏忽五年已盡。博士生涯即將結(jié)束，回眸過往，不禁感慨萬千。五年前，我懷著忐忑而激動(dòng)的心情邁進(jìn)了上海光機(jī)所，心中卻彌漫著彷徨與迷茫；五年后，我亦懷著忐忑而激動(dòng)的心情等待著畢業(yè)答辯日，心中卻充溢著堅(jiān)定與感謝。這份堅(jiān)定來自于五年的求學(xué)路，這份感謝來自于求學(xué)路上幫助過我的人。我要感謝我的博士導(dǎo)師邵建達(dá)老師，感謝邵老師在我求學(xué)期間給予我學(xué)業(yè)上的悉心指導(dǎo)。邵老師深邃的思維、廣闊

2、的視野和大家的氣度，深深的影響著我對(duì)科學(xué)的認(rèn)知，引導(dǎo)我立志投身于科學(xué)研究事業(yè)。我要感謝我碩士導(dǎo)師易葵老師，感謝易老師在我求學(xué)期間給予我工作上的大力支持和生活上無微不至的關(guān)懷。易老師孜孜不倦的治學(xué)態(tài)度，對(duì)工作一絲不茍、兢兢業(yè)業(yè)的的敬業(yè)精神，使我受益匪淺，潛移默化中，讓我學(xué)會(huì)了科研工作的思維方式和實(shí)施方法。我要感謝我碩博期間的指導(dǎo)老師張偉麗老師，感謝張老師在我求學(xué)期間手把手領(lǐng)著我從一個(gè)蹣跚學(xué)步的孩子成長(zhǎng)為一個(gè)腳步堅(jiān)定的青年。我的工作，從實(shí)驗(yàn)

3、設(shè)計(jì)到具體實(shí)施，從結(jié)果分析到論文撰寫都凝結(jié)著張老師的心血與智慧。她對(duì)科研的嚴(yán)謹(jǐn)與執(zhí)著，她對(duì)生活的寬厚與豁達(dá)，都將使我終生受用。我要感謝指導(dǎo)老師范正修老師，感謝范老師對(duì)我科研方向上的引領(lǐng)和實(shí)驗(yàn)架構(gòu)上的指導(dǎo)。范老師淵博的學(xué)識(shí)，活躍的思想，精湛的學(xué)術(shù)造詣和淡泊名利的人格魅力為我樹立了人生的榜樣。師恩如海，銜草難報(bào)。我還要感謝晉云霞老師對(duì)我學(xué)習(xí)和生活上的關(guān)心，讓我在薄膜中心體會(huì)到家的溫馨；感謝何洪波老師，齊紅基老師，朱美萍老師，趙元安老師，劉世

4、杰老師、魏朝陽老師、邵淑英老師、方明老師、王胭脂老師對(duì)我實(shí)驗(yàn)上的點(diǎn)撥。感謝李大偉老師，肖祁陵老師、崔云老師、劉曉鳳老師、胡國(guó)行老師、郭聚平老師、柯立公老師、孫珍敏、張蕾在測(cè)試方面給予的幫助。感謝徐佳老師在課題經(jīng)費(fèi)支出方面所給予的保障。感謝葛建忠老師、陳梅老師、郭仕海老師、王建青、姚良、齊曉紅、王超華、沈雪峰、王曉峰、季云佳、季賢、朱曉燕等中心員工對(duì)我的實(shí)驗(yàn)的照顧與幫助。。感謝實(shí)驗(yàn)室所有的同學(xué)們。感謝課題組的劉光輝師兄、王河師姐、李煦師弟