白光相移干涉技術中相移控制器的研制.pdf

1、相移干涉技術是超精密測量及微納米檢測的關鍵技術之一，也是現(xiàn)代光學測試技術的主要方面。它具有高靈敏度、高精度、非接觸性及可實現(xiàn)實時測量等優(yōu)點。因此，相移干涉技術成為目前國內(nèi)外學者研究的熱點之一。
　　 本文主要探討了相移干涉理論和壓電陶瓷傳感器(PZT)的逆壓電效應原理，并以此為基礎，利用光電位置傳感器(PSD)實時檢測在外加一定驅動電壓下PZT的微變位移量，而產(chǎn)生的微位移量又反過來作用于PZT的控制電壓，運用PID控制技術設計出

2、了一套集驅動、檢測和補償為一體的閉環(huán)控制系統(tǒng)。
　　 文中著重闡述了系統(tǒng)硬件和軟件的設計方法。采用PSD實時檢測光點的位置，并將光點位置信號轉變?yōu)槲⑷蹼娏餍盘?，此信號?jīng)I-V轉換、信號放大、濾波和A/D轉換后送到MSP430單片機進行數(shù)據(jù)處理得到PZT微小位移量。根據(jù)采集到的位移量與預設位移值比較后的結果，采用PID控制算法進行修正，然后調(diào)用D/A轉換模塊得出高精度模擬電壓來帶動PZT做精確的定位運動，同時進入以PSD為感應器的