基于條紋畸變方法檢測掠入射拋物面鏡面形的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、目前對X射線掠入射拋物面鏡研究較多的是其成形控制機理,而對其面形檢測的研究仍然處于探索階段。本文深入探討了一種基于條紋反射對拋物面鏡簡單又高效的測量方法。利用PC機顯卡的雙屏功能,在其中一個顯示器上顯示計算機產(chǎn)生水平和豎直的兩種情況下的正弦條紋圖樣,通過CCD采集待測鏡反射而變形的條紋圖樣,并且利用四步相移法計算出相應的相位變化。然后,利用枝切法對四步相移法計算出的包裹相位進行展開。再由成像原理推導出梯度與相位變化的對應關系。由于得到的

2、梯度場為離散梯度,需要通過數(shù)值積分(本文利用的是傅里葉變換積分法)重建面形,從而完成對拋物面鏡面形的測量。
　　本文首先對實驗進行模擬。主要分為兩部分:第一,利用計算機實現(xiàn)和驗證四步相移,相位展開,面形重建的關鍵算法。第二,模擬整個實驗流程,即從變形的條紋重建出面形。然后,搭建了實驗測量系統(tǒng),對掠入射拋物面鏡進行面形實測,采集到豎直與水平條紋,然后進行面形重建。驗證了測量方法的可行性。并且分析了各種誤差源對測量精度的影響。

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