磁懸浮分子泵數(shù)字控制系統(tǒng)研究和實(shí)驗(yàn).pdf

1、磁懸浮分子泵是一種采用磁軸承替代傳統(tǒng)軸承的真空泵，是典型的機(jī)電一體化產(chǎn)品，具有高轉(zhuǎn)速、長壽命和高剛度等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體等領(lǐng)域。本課題研究目的是為了解決國家16項(xiàng)重大專項(xiàng)課題之一——神光Ⅲ項(xiàng)目中要求的高真空和高潔凈等問題。普通分子泵有壽命短、振動和噪音高以及抽取真空的潔凈度不理想的缺點(diǎn)，顯然不能滿足其要求，因此磁懸浮分子泵的研究應(yīng)用具有特殊的意義。
　　本論文主要進(jìn)行了磁懸浮分子泵結(jié)構(gòu)設(shè)計，磁軸承數(shù)字控制系統(tǒng)的研究和基于DSP

2、的數(shù)字控制器模擬化設(shè)計方法的研究。
　　首先，在渦輪分子泵的基礎(chǔ)上，根據(jù)磁軸承的特點(diǎn)進(jìn)行了磁懸浮渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計，側(cè)重于介紹磁懸浮渦輪分子泵磁軸承系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和構(gòu)成部件，以及其機(jī)械裝置的重新設(shè)計與改進(jìn)工作，并介紹了工作原理。
　　其次，對磁懸浮渦輪分子泵磁軸承系統(tǒng)各部分進(jìn)行了詳細(xì)的介紹，建立了各個部分的數(shù)學(xué)模型，建立了控制系統(tǒng)的閉環(huán)傳遞函數(shù)，用MATLAB對其進(jìn)行了仿真研究，并在此基礎(chǔ)上分析了PID調(diào)節(jié)器中各參數(shù)對控制性能