用準光腔法測大面積介質片復介電常數及其分布.pdf

1、本課題擬通過設計3mm開放式諧振腔，使開放式諧振腔中傳播的高斯波束的束腰半徑盡可能小，組建3mm準光學諧振腔測試系統(tǒng)，編寫測試軟件，對介質片進行測試，調節(jié)移動裝置，實現(xiàn)對大面積介質片的掃描測試，從而測得介質片介電性能的分布。 首先分析了準光腔內存在的高斯波束電場和能量分布情況，模擬了工作模式TEM00q和高次模式的電場和能量分布圖，計算準光腔的諧振頻率和束腰半徑，以此為依據設計了3mm準光學諧振腔。采用固定腔長法，推導了計算復介

2、電常數的計算公式。利用終端反射式諧振回路原理搭建了測試系統(tǒng)，編寫測試軟件，完成對復介電常數的計算。最后利用研制的測試系統(tǒng)及測試軟件對樣品進行測試，得到所測試材料的復介電常數及其分布。 對測試結果進行誤差分析。根據測試原理確定誤差源，通過誤差理論分析，得到綜合誤差。 通過測試結果及理論分析表明，測試系統(tǒng)能達到的技術指標及測試誤差分別為： 測試頻率：f=93～106GHz測試范圍：ε′=2～8；tanδ=5×10-5