自動阻抗匹配器驅動程序設計及匹配算法研究.pdf

1、射頻耦合系統(tǒng)在工業(yè)和醫(yī)療領域有著廣泛地應用，其中射頻耦合等離子體設備系統(tǒng)是生產大規(guī)模集成電路、液晶屏等產品中關鍵工藝的主流設備，而影響設備系統(tǒng)性能的關鍵部件就是阻抗匹配器。增強阻抗匹配器的自動調節(jié)功能和匹配精度，并保證整個設備系統(tǒng)工作在穩(wěn)定的狀態(tài)，是最終保證產品生產質量和效率的重要因素。針對國內無自動阻抗匹配器的現(xiàn)狀，具體開展提高自動阻抗匹配器功能及性能的研究開發(fā)工作，具有非?，F(xiàn)實的社會意義和應用價值。 本論文基于已有的自動阻抗

2、匹配系統(tǒng)硬件平臺開展研究，主要進行了以下幾個方面的工作： 1.為基于ARM核心的的自動阻抗匹配器系統(tǒng)的電容調節(jié)、反射系數(shù)采集、人機接口三大功能模塊編寫驅動程序。設計了電容位置檢測和電機驅動調節(jié)程序，實現(xiàn)對電容參數(shù)的開環(huán)調節(jié)以及基于數(shù)字PID的閉環(huán)調節(jié)；完成了反射系數(shù)采集模塊的模擬、數(shù)字濾波器設計和快速采集處理實現(xiàn)；為人機接口設計了基于中斷和隊列的按鍵查詢和處理機制，實現(xiàn)了彩色LCD顯示功能。 2.針對梯度下降搜索算法在自