準分子激光微孔加工技術研究.pdf

1、準分子激光是以準分子氣體作為激活介質(zhì)而產(chǎn)生的激光。準分子激光屬于紫外波段，波長短，適于高精度的微細加工。同時此波段光波的光子能量高，加工有機材料時以斷裂化合鍵為主，熱效應影響不大，因此適宜對高聚物進行加工。但是由于準分子激光器在激勵時的放電特殊性，光束質(zhì)量受到很大影響，輸出的光斑較大，光斑能量分布也均勻，影響了微加工的效果。 本文從分析準分子激光器的光束特點出發(fā)，對波長為248nm的準分子激光光束的能量分布做了精確分析，設計加工

2、了適于KrF準分子激光勻束的光波導。增加了光斑的能量均勻度，提高了光束的能量密度，微孔加工質(zhì)量得到提高。 分析了目前主要的幾種投影物鏡系統(tǒng)特點，從光學設計理論出發(fā)，由專業(yè)光學設計軟件ZEMAX精心系統(tǒng)優(yōu)化，設計加工了用于高精度準分子激光微孔加工的倍率為100∶1的投影成像物鏡。很好地消除了各種像差，能夠達到10um級的微孔加工精度，提高了加工精度。 本文通過分析影響微孔加工質(zhì)量的原因，提出減小微孔錐度和增加微孔深寬比的掩