鋯鈦酸鉛薄膜的制備及性能測試研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩66頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、針對?；穬\(yùn)監(jiān)測的問題及關(guān)鍵技術(shù)，本論文按照863科研項目《面向安全監(jiān)測與跟蹤的網(wǎng)絡(luò)化微系統(tǒng)》的課題要求，主要從事熱釋電紅外探測器敏感元的研究。伴隨微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展，MEMS器件在尺寸(微米/納米量級)、體積、質(zhì)量、功耗、響應(yīng)時間上都得到極大提升。本文利用MEMS工藝在硅基底上制備鋯鈦酸鉛薄膜，并通過一系列基礎(chǔ)性研究探求高性能鋯鈦酸鉛薄膜材料的制備技術(shù)。 論文利用溶膠凝膠法制備三種不同鋯鈦比的鋯鈦酸鉛材料，確定

2、先體溶液原料為乙酸鉛、四正丁氧基鋯及鈦酸四丁酯，采用四正丁氧基鋯有機(jī)試劑作為螯合劑，通過化學(xué)方法配制前驅(qū)體溶液并制備薄膜。采用甩膠機(jī)將溶膠均勻涂覆在硅基片上，通過燒結(jié)及退火處理得到PZT薄膜。通過薄膜能譜分析得到薄膜材料的確切比例，由形貌測試、XRD、Raman測試得出，溶膠濃度在0.2mol/L比較合理，且鋯鈦比例為15/85的干凝膠比其他兩種性能優(yōu)越。實驗過程中，通過一系列的燒結(jié)試驗，得出合理的燒結(jié)溫度曲線等薄膜制備工藝參數(shù)對薄膜的

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論