支持MEMS系統(tǒng)級(jí)設(shè)計(jì)的仿真器研究.pdf

1、MEMS已由功能單一的微器件向由微機(jī)械和接口電路等構(gòu)成功能更加復(fù)雜的集成化微系統(tǒng)方向發(fā)展，這給MEMS設(shè)計(jì)者提出了越來(lái)越高的要求，也使得MEMS設(shè)計(jì)方法和設(shè)計(jì)工具研究成為國(guó)際上MEMS研究的重點(diǎn)。其中，MEMS系統(tǒng)級(jí)的快速建模與仿真分析是縮短MEMS設(shè)計(jì)周期、降低設(shè)計(jì)成本的重要手段。 本文選取標(biāo)準(zhǔn)語(yǔ)言vHDL-AMS來(lái)進(jìn)行MEMS系統(tǒng)級(jí)建模，研究了vHDL-AMS語(yǔ)言模擬部分的主要擴(kuò)展語(yǔ)義，以及利用這些擴(kuò)展語(yǔ)義來(lái)實(shí)現(xiàn)各類MEMS

2、系統(tǒng)級(jí)建模方法，并通過(guò)一個(gè)MEMS微梁的例子說(shuō)明了基于VHDL-AMS語(yǔ)言的MEMS系統(tǒng)級(jí)建模流程；基于國(guó)產(chǎn)ZeniVDE仿真器，研究了混合信號(hào)仿真器實(shí)現(xiàn)機(jī)理，其中包括基于VHDL-AMS語(yǔ)言的數(shù)學(xué)模型提取、模擬解算器的一般求解流程和求解算法，為支持MEMS系統(tǒng)級(jí)仿真器的開(kāi)發(fā)和完善打下基礎(chǔ)；最后通過(guò)梳齒諧振器和微加速度計(jì)在ZeniVDE上的仿真實(shí)現(xiàn)，驗(yàn)證了基于VHDL-AMS語(yǔ)言的MEMS系統(tǒng)級(jí)建模方法和仿真器的可行性和有效性。