光學玻璃磁流變拋光工藝試驗研究.pdf

1、在光學系統(tǒng)中應用小口徑非球面鏡來提高光學系統(tǒng)的光學性能已經(jīng)成為現(xiàn)代光學技術發(fā)展的一種趨勢。傳統(tǒng)拋光方法不能對銑磨成型后的小口徑元件進行快速確定性拋光，對小口徑光學非球面鏡片的加工效率和加工精度難以滿足市場的需要。因此迫切需要發(fā)展新型的高效率高質(zhì)量的先進光學拋光技術。 磁流變拋光技術(MRF)是近年來發(fā)展起來的一種新型的光學加工技術，在光學加工中具有傳統(tǒng)加工方法無法比擬的優(yōu)點。它能夠加工出具有超光滑表面，同時不會產(chǎn)生下表面破壞層，

2、是一種柔性的拋光，并且具有較高的拋光效率。目前大部分常規(guī)磁流變拋光都采用轉輪式拋光方式，該方式在很多方面也都顯示了它的優(yōu)越性。但隨著零部件尺寸的逐步減小，特別是針對φ10mm口徑以下的小口徑光學零件，很難再將磁流變拋光輪進一步微型化，來實現(xiàn)對微小零部件的加工。 本課題來源于國家863課題-非球面超精密復合加工機床原型樣機的研制，針對常規(guī)磁流變拋光加工小口徑工件的難題，進行了以下研究工作： (1)通過分析目前磁流變拋光裝置

3、常見結構，針對本課題設計并研制了磁流變研拋簡易試驗裝置、包括磁場發(fā)生裝置、小型拋光頭、磁流變拋光液、夾具等。 (2)通過分析磁流變液體的組成、特性、流變機理和性能要求。對磁流變拋光液的各組成成分比例進行了優(yōu)化。配置出了合格的磁流變拋光液。并對各組成成分對拋光的影響進行了分析。 (3)利用設計的磁流變拋光試驗裝置和開發(fā)的磁流變液體，通過對平面玻璃拋光試驗，研究了四種小型拋光頭形狀對加工表面粗糙度的影響。并通過正交優(yōu)化試驗對