二氧化錫涂層的制備和氣敏性能研究.pdf

1、二氧化錫由于其具有敏感性高，響應(yīng)時(shí)間短以及消耗低等優(yōu)點(diǎn)，一直是作為制備半導(dǎo)體式金屬氧化物氣體傳感器的廣普材料。氣體傳感器的氣敏特性受到很多因素的影響，諸如晶粒尺寸，多孔性，織構(gòu)，小平面，晶粒間的連接方式等等。對(duì)制備參數(shù)，結(jié)構(gòu)，形態(tài)和氣敏特性之間的關(guān)系進(jìn)行研究就顯得尤為重要。
　　在本文中，以結(jié)晶四氯化錫和乙二醇為前驅(qū)體，采用溶膠凝膠法成功地制備了納米級(jí)別的二氧化錫涂層。在二氧化錫涂層制備過(guò)程中，前驅(qū)體之間的反應(yīng)過(guò)程我們用傅里葉紅外

2、光譜儀進(jìn)行了表征。與采用金屬醇鹽作為前驅(qū)體和水溶液做為溶劑相比，不僅價(jià)格便宜，而且溶膠穩(wěn)定性也較好，即使是在高濃度的溶膠溶液中，凝膠化過(guò)程也不易受氯離子的影響。用熱重—差熱和傅里葉紅外光譜儀對(duì)干凝膠的結(jié)晶過(guò)程進(jìn)行了表征。結(jié)晶開(kāi)始于179℃，有機(jī)物開(kāi)始分解，到430℃的時(shí)候結(jié)晶完成。用X射線衍射光譜儀，拉曼光譜儀和掃描電鏡對(duì)二氧化錫涂層的結(jié)構(gòu)和形態(tài)進(jìn)行了表征。用超聲波噴霧高溫分解法成功制備了小孔直徑為30～50納米的多孔小球，用溶膠凝膠旋