基于壓電聚合物薄膜的可調諧Fabry-Perot濾波器.pdf

1、光通信系統(tǒng)的不斷發(fā)展推動了WDM技術的不斷進步，因而也極大推動了包括光學濾波器在內的光學器件的發(fā)展。其中可調諧法布里一珀羅濾波器(FPF)在光通信中得到了廣泛的應用。到目前為止，國內外對FPF的研究已經(jīng)很多，利用不同調制原理的FPF在調制范圍、響應速度、插入損耗等方面各有優(yōu)缺點，得到了不同的應用。而PVDF及其共聚物由于柔軟、易于大面積制作等優(yōu)點也一直得到廣泛的研究，尤其是近年來PVDF共聚物的電致伸縮效應也有了一定程度的研究。本文中的

2、主要工作是將偏氟乙烯(VDF)與三氟乙烯(TrFE)的共聚物P(VDF—TrFE)的電致伸縮效應應用到F—P濾波器中，制作出較寬光譜可調諧的高性能濾波器。
　　 本文通過對器件中可能存在的效應的分析，確定了器件結構。該結構采用DBR/電極/間隔層/電極/DBR的形式制作濾波器，其中以壓電聚合物P(VDF—TrFE)為間隔層，器件透光部分刻蝕以消除電光效應。此結構優(yōu)點是排除了電光效應的影響，提高了電壓利用率，并且所有制作工藝都為常

3、規(guī)制作工藝，不會增加器件成本。
　　 在紅外波段制作了刻蝕與不刻蝕器件，并對其進行性能對比，驗證了本文所采用的器件結構有利于提高透過率等F—P腔性能。在可見和紅外波段分別制作了刻蝕器件，研究F—P腔在不同波段的性能。討論了不同制作工藝對器件濾波性能的影響。
　　 在紅外波段對刻蝕過的F—P器件進行加電壓調制，測試濾波器透過率光譜以觀察電壓對中心波長的調制。據(jù)實際結果得到腔的光學厚度為8.04μm，腔長在電場作用下收縮。在