基于條紋投影的三維小視場測量系統(tǒng)研究.pdf

1、面向微小物體的三維形貌測量是現代測試技術中一個重要的分支。自從上世紀80年代MEMS器件在國外受到廣泛的應用，其相應的形貌測量技術也得到了快速的發(fā)展?？偟膩碚f，與國外的測量儀器和測試技術相比較，目前國內針對微小物體的測試系統(tǒng)還需要進一步提升性能。因此，更高的測量精度、自動化程度以及更快的測試速度，是表面形貌測試技術奮斗的目標。
　　基于上述現狀，本論文從理論和實踐上對微小物體的三維形貌測量進行了深入的研究。首先，總結了國內外針對微

2、小物體尤其是MEMS器件三維形貌測量的發(fā)展現狀，分析了各個測量方法的優(yōu)缺點以及適用范圍，本文選擇了高精度、非接觸、測量速度快的條紋投影方法進行微小物體三維形貌的測量；其次，根據被測物體的大小，選擇合適的光學器件，搭建一套用于獲取微小物體三維形貌的硬件系統(tǒng)，調節(jié)光路，獲得符合測量要求的視場以及清晰的變形條紋圖；再次，編寫標定以及系統(tǒng)精度驗證等程序，將軟件系統(tǒng)與硬件系統(tǒng)相結合，完成基于條紋投影的三維小視場測量系統(tǒng)的設計；最后，完成小視場標定