試驗設計方法在微電子涂膠和刻蝕工藝優(yōu)化中的應用研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文以試驗設計(DOE)技術的應用研究為目的，結合微電路涂膠和刻蝕工藝對象，研究了微電路工藝的試驗方案設計、模型構造和參數優(yōu)化技術。
　　 由于傳統(tǒng)的工藝條件確定方法是依靠經驗進行參數調整，可能存在試驗次數較多，很難達到最優(yōu)條件等問題。本文概述了試驗設計的基本理論，并應用試驗設計方法，提出了對具體工藝進行優(yōu)化的技術途徑與實現方法。結合一個因子試驗設計的例子說明了試驗設計中因子效應估計以及方差分析和回歸分析的方法。結合等離子刻蝕工

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