軟刻蝕法制備分布反饋式固態(tài)染料激光介質(zhì)的研究.pdf

1、隨著激光器向著固態(tài)化和小型化發(fā)展,基于分布反饋(Distributed-feedback,DFB)結(jié)構(gòu)的固態(tài)染料激光介質(zhì)在光學(xué)集成、實用化的方向上具有舉足輕重的地位。分布反饋激光器由于具有無腔鏡、窄線寬、可調(diào)諧、易于集成和超短脈沖輸出等重要特性,在很多應(yīng)用領(lǐng)域、科研方向有著廣泛的發(fā)展前途。染料激光介質(zhì)的固態(tài)化能簡化龐大的液態(tài)循環(huán)裝置且更換方便,可延長染料使用壽命,減少染料對人體可能的毒害。軟刻蝕技術(shù)作為一種非傳統(tǒng)光刻蝕技術(shù)在微結(jié)構(gòu)制造領(lǐng)

2、域有著顯而易見的優(yōu)越性。
　　 本文旨在研究基于軟刻蝕技術(shù)制備分布反饋式固態(tài)染料激光介質(zhì),并開展了以下幾方面的研究工作：⑴使用全息雙光束干涉方法制備一維及二維光柵,作為軟刻蝕法復(fù)制分布反饋結(jié)構(gòu)的母版。⑵研究軟刻蝕技術(shù)的工藝流程,選擇合適的印章材料、獲得關(guān)鍵參數(shù),為復(fù)制分布反饋結(jié)構(gòu)提供實驗基礎(chǔ)。⑶利用溶膠.凝膠法,通過設(shè)計、調(diào)整先驅(qū)體組成,獲得適合制備分布反饋結(jié)構(gòu)的含鋯及含乙基兩種雜化薄膜波導(dǎo)的工藝技術(shù)。運(yùn)用棱鏡耦合儀對樣品厚度和