三維微硅加速度計的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文詳細討論了一種新型電容式三維微硅加速度傳感器的方案設計、工藝流水以及樣品的結果測試.論文首先對微硅加速度傳感器的發(fā)展進行了綜述,結合國內外關于微硅加速度傳感器研究的代表性產品,討論微硅加速度傳感器的發(fā)展狀況.論文其次從結構及檢測機構上需要介紹加速度傳感器的原理,分別對三種主要類型的加速度計:壓阻式、電容式和隧道效應式加速度傳感器進行了橫向及縱向比較;對于目前的研究熱點--三軸加速度計,結合國內外的設計方案,并進行比較,設計出一種新穎

2、的具有完全對稱結構的方案,以利于提高實用性能,便于設計制作.論文詳細討論了采用固支梁結構的三維微硅加速度傳感器的結構參數設計.論文給出了電容式三維微硅加速度計的工藝流程,對其中的重點工藝,如濃度自停止腐蝕、ICP刻蝕等進行重點介紹,對硅片的KOH腐蝕實驗進行討論,并對重點工藝--橋墩、檢測質量塊、固支梁的濃硼擴散進行SUPREM工藝模擬.通過工藝流水,設計出三維微硅加速度傳感器的樣品,對樣品進行結構參數的測試.對誤差進行量化分析.最后,

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