電化學沉積過程中的智能控溫磁力攪拌技術研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代高科技技術的發(fā)展，電化學沉積技術的研究不斷深入，其應用領域也越來越廣泛，而在電化學沉積試驗過程中溶液溫度與攪拌技術對其效果起著決定性的作用，因此本研究旨在設計和探索一種在電化學沉積過程應用的智能控溫磁力攪拌技術，推動電化學沉積技術獲得更新更快的發(fā)展。
　　普通攪拌技術用老式溫度傳感器測溫，不但精度差，測量溫度范圍窄，且價格很高，使用麻煩。本文針對電沉積試驗準確控制溶液溫度和均勻攪拌的需要，研究了智能控溫型磁力攪拌技術，與普

2、通攪拌技術相比較，主要工作內(nèi)容包括以下三個方面：首先是測溫與控溫方式的改變，我們研究的攪拌技術采用PT100采集溫度，溫度采集范圍從-200度到600度，程序自動對溫度進行線性校準，程序通過AD將模擬溫度信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號后查表得到溫度值，溫度精度值高，而控溫采用的是智能PID控溫，溫度過沖很小，恒溫精度高。其次是高精度轉(zhuǎn)速控制的改變，我們研究并設計的攪拌技術通過槽型光耦測量電機的轉(zhuǎn)速，這也是設計中的一大亮點，有低成本高精度的優(yōu)點。而且

3、這種新型攪拌技術可以按照實際測量的轉(zhuǎn)速精確控制攪拌速度，真正實現(xiàn)精確控溫精確控速的智能攪拌技術。最后是單片機方式的改變，設計中采用C8051F350為核心控制芯片，這款芯片內(nèi)部集成AD和DA，功能強大，同樣頻率處理速度是普通51單片機的10倍。在設計和研究過程中，將智能磁力攪拌技術與普通攪拌技術進行了對比試驗，通過對試驗數(shù)據(jù)的多次分析和反復優(yōu)化，實現(xiàn)了對電沉積溶液溫度和攪拌速度的精確控制，實用性能得到了顯著提高。
　　本文以電沉積