基于電光采樣技術(shù)的超高速光電導(dǎo)開關(guān)測(cè)試方法的研究.pdf

1、隨著微電子技術(shù)和光電子技術(shù)的發(fā)展以及器件的微加工技術(shù)的不斷提高，超高速電子器件及超高速光電子器件在信息領(lǐng)域扮演著越來(lái)越重要的角色。不過，在目前的技術(shù)條件下，還不能準(zhǔn)確便捷地檢測(cè)這些器件的性能和參數(shù)，所以，對(duì)高帶寬、高靈敏度的超高速光電檢測(cè)系統(tǒng)的要求非常迫切。 在這樣的背景下，本課題對(duì)基于半導(dǎo)體光電導(dǎo)開關(guān)的超高速光電檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行研究和構(gòu)建。通過對(duì)超高速光電導(dǎo)開關(guān)基本原理的分析，研究并構(gòu)建電光采樣系統(tǒng)原型以實(shí)現(xiàn)對(duì)其的測(cè)量，同時(shí)對(duì)系統(tǒng)

2、的關(guān)鍵組成部分進(jìn)行了分析和測(cè)試，以期發(fā)展出應(yīng)用于超快器件輸出性能描述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)。 本論文的主要研究?jī)?nèi)容和取得的研究成果如下： 1.查閱了大量的文獻(xiàn)資料，對(duì)目前所應(yīng)用的各種超快電信號(hào)測(cè)量技術(shù)進(jìn)行了分析比較。 2.通過分析光電導(dǎo)開關(guān)的基本原理，設(shè)計(jì)超快光電導(dǎo)開關(guān)，包括襯底材料的選擇，具體結(jié)構(gòu)和加工方法的設(shè)計(jì)等；通過理論計(jì)算獲得超快光電導(dǎo)開關(guān)的輸出特性。 3.利用AFM針尖誘導(dǎo)氧化的方法在Ti膜上進(jìn)行了光電