紅外玻璃的微壓印研究.pdf

1、紅外玻璃作為一類特殊的光學材料，在微光學方面起著越來越重要的作用。研究這種材料的熱壓印成型特性就成為比較重要的一項課題。壓印技術具有成本低，重復性好，可控性強等一系列優(yōu)點，逐漸被應用于微細加工的各個領域。在硫系鍺紅外玻璃的微壓印研究方面，目前國內尚無報道，本論文主要對鍺砷硒玻璃（Ge33As12Se55）熱壓印工藝及其成型特性進行了研究。
　　 本論文在微壓印技術的前景以及對國內外相關工作進行回顧的基礎上，了解微壓印技術的新思想

2、、新方法，針對熱壓印技術展開了一系列研究。首先介紹了熱壓印工藝的相關理論及流程，設計并制備了用于熱壓印的硅模板，隨后嘗試采用熱壓工藝完成鍺砷硒玻璃對硅模板的復制。熱壓印技術中，熱壓溫度、壓強、時間等影響熱壓印結果的重要因素。本論文采用單因素實驗與正交實驗研究相結合的方法，以鍺砷硒玻璃為實驗對象，濕法腐蝕技術制備硅模板，利用實驗室加熱設備以及自制加壓系統(tǒng)進行實驗研究，對鍺砷硒玻璃的成型特性進行了初步探討，總結出鍺砷硒玻璃的熱壓印成型的規(guī)律

3、，為鍺砷硒玻璃熱壓印工藝的進一步研究打下基礎。
　　 本文研究表明，熱壓印技術是適于制備紅外微光學元件的新方法。熱壓印實驗中，當鍺砷硒玻璃低于玻璃化溫度時，施加壓力無法產(chǎn)生變形；隨著溫度的增加鍺砷硒玻璃加熱到玻璃化溫度以上，逐漸軟化直至粘流態(tài)，此時在壓力的作用下能迅速產(chǎn)生形變；此外，須保持一定的時間以克服鍺砷硒玻璃的彈性回復和殘余應力。在最佳工藝條件下，鍺砷硒玻璃對硅模板的填充率為80.50％，對于精度要求較高微光學零件來說，復