反射式光柵復制方法研究與開發(fā).pdf

1、本課題以1200線反射式光柵為例進行反射式光柵復制方法的研究和開發(fā),使得復制光柵具有接近母板的性能,又降低光柵制作成本取得價格優(yōu)勢。本文圍繞反射式光柵復制方法進行理論研究與工藝開發(fā),主要包含以下幾個方面內容:
　　首先,介紹光柵的分類及應用,對光柵的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢進行分析,闡明進行反射式光柵復制方法的研究與開發(fā)的重要意義。
　　其次,對光柵衍射理論進行分析,介紹母板光柵的制作方法和工藝,采用全息刻蝕方法制得母板光柵進行復制。

2、
　　再次,采用理論和實際相結合的方式開展研究,根據光柵結構對光柵性能的影響,以及國內外文獻對光柵復制方法的研究,通過對比分析各種方法的優(yōu)缺點,用軟件模擬分析微觀變化的影響大小,開展光柵復制方法的研究和開發(fā),通過實驗確定制作方法和工藝參數(shù),解決技術難點,研究和開發(fā)出高質量、低成本的反射式光柵復制方法。
　　經過復制得到的光柵,用掃描電鏡和原子粒顯微鏡進行形貌測試,復制品與母板光柵具有相同的形貌。應用衍射效率測試臺測試的結果也