單頭等螺距內凹轉子型線研究及優(yōu)化設計.pdf

1、近年來,在半導體工業(yè)和液晶顯示器制造工藝中,對清潔真空環(huán)境的要求越來越高。干式螺桿真空泵,是20世紀90年代出現(xiàn)的一種理想真空獲得設備,其結構簡單,抽氣性能優(yōu)良,可直排大氣,抽氣過程清潔無油污染。在歐美和日本等發(fā)達國家,干式螺桿真空泵已廣泛地應用于各工業(yè)領域。國內干式螺桿真空泵的研究工作起步較晚,同時受到國內加工制造水平的限制,同類產品基本依賴進口,價格昂貴。
　　 干式螺桿真空泵的核心部件是一對互相嚙合的非接觸螺桿轉子。螺桿轉

2、子的設計要保證間隙帶均勻。既要實現(xiàn)同步嚙合運動時不發(fā)生齒面干涉。因此螺桿轉子型線研究是干式螺桿真空泵研發(fā)的關鍵技術,也是螺桿泵技術研究的熱點。
　　 文章以干式螺桿真空泵為研究對象,根據(jù)螺旋面生成原理,推導出單頭等螺距梯形截面內凹型螺桿轉子型線數(shù)學方程。運用SolidWorks三維軟件建模仿真,模擬嚙合運動過程,進行靜態(tài)、動態(tài)干涉檢查,驗證了螺桿轉子型線方程的正確性。通過螺桿轉子的有限元分析,對螺桿轉子固有頻率、螺桿轉子變形等進