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文檔簡介
1、管內(nèi)壁表面非連續(xù)微結(jié)構(gòu)是指在物體內(nèi)表面加工出規(guī)則的微米級大面積陣列微結(jié)構(gòu)。這些表面織構(gòu)具有特定的功能,如導(dǎo)熱性、疏水性等,因此為新型微電子散熱技術(shù)提供了極大保障,促進了電子行業(yè)的極大發(fā)展。微電解加工技術(shù)是加工表面織構(gòu)的重要方法。不同于傳統(tǒng)的機械加工技術(shù),電解加工是陽極(工件)在電解液中以“離子”狀態(tài)發(fā)生溶解,從而達到去除材料,將零件加工成型的一種技術(shù)。由于電解加工過程是以“離子”形式進行,屬于非接觸加工,所以具有不存在機械應(yīng)力,不受材料
2、硬度、強度等性能的限制,工具電極無損耗,適合于批量加工等優(yōu)點,所以電解加工技術(shù)在微細(xì)制造領(lǐng)域具有廣闊的發(fā)展前景。
本文針對管內(nèi)壁非連續(xù)微結(jié)構(gòu)的加工工藝要求----加工出深度200-500μm,寬度300-800μm的非連續(xù)微結(jié)構(gòu),并結(jié)合三D打印技術(shù),光刻技術(shù)等對非續(xù)微結(jié)構(gòu)的加工工藝進行了探索。本文主要對管內(nèi)壁非連續(xù)微結(jié)構(gòu)研究的主要指標(biāo)是:加工深度和加工寬度。因此本文的工藝探索也是圍繞這二個方面進行的。根據(jù)管內(nèi)壁非連續(xù)微結(jié)構(gòu)加工
3、的要求結(jié)合微細(xì)電解加工的工藝特點,設(shè)計了滿足微細(xì)電解加工所需的實驗平臺和專用的夾具。因為本文是基于靜態(tài)加工的工藝研究,所以實驗室平臺主要是關(guān)于電解液循環(huán)系統(tǒng)的搭建和夾具的設(shè)計。在微細(xì)電解加工中,電源的精度直接決定了最終的加工精度,該實驗中采用高精度的SmartWave SW型號脈沖電源進行加工。采用不同的加工電壓,占空比,脈寬,電解液濃度等參數(shù)條件下進行試驗和比較,研究發(fā)現(xiàn)電壓、占空比、NaNO3濃度、、脈沖頻率和電壓波形等參數(shù)對微結(jié)構(gòu)
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