氮化物薄膜的制備及其結(jié)構(gòu)與性能研究.pdf_第1頁(yè)
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1、本研究采用射頻反應(yīng)磁控濺射法,分別在玻璃基片上制備了Tb摻雜Cu3N薄膜和TiN薄膜,采用表面形貌儀、X射線衍射儀、X射線能譜儀、四探針電阻率測(cè)試儀、紫外—可見(jiàn)分光光度計(jì)等設(shè)備對(duì)薄膜的成份、結(jié)構(gòu)、熱穩(wěn)定性以及電學(xué)性能和光學(xué)性能進(jìn)行了表征,并對(duì)表征結(jié)果進(jìn)行了詳細(xì)分析,得到以下結(jié)論:
   Tb的摻入對(duì)Cu3N薄膜的沉積速率沒(méi)有明顯的影響;Tb的摻入使Cu3N薄膜x射線衍射圖譜(111)晶面衍射峰向高角度移動(dòng),但Cu3N薄膜始終沿(

2、111)晶面擇優(yōu)生長(zhǎng),因此Tb的摻入并未使Cu3N薄膜結(jié)構(gòu)發(fā)生顯著改變;適量的Tb的摻入使Cu3N薄膜的晶粒尺寸變大,結(jié)晶質(zhì)量提高;Tb的摻入使Cu3N薄膜的熱穩(wěn)定性有一定程度的降低,并使Cu3N薄膜的電阻率下降:由Tb含量為0at.%時(shí)的339.3Ω·cm下降至Tb含量為5.89at.%時(shí)的178.2Ω·cm;Tb的摻入使Cu3N薄膜的光學(xué)能隙由1.12ev增加至1.44ev。
   隨著總氣壓中氮?dú)鈿鍤饬髁勘扔?:9上升至1

3、:2,TiN薄膜的沉積速率呈現(xiàn)出先增大后減小的規(guī)律;隨著氮?dú)獗壤纳仙?,TiN薄膜擇優(yōu)生長(zhǎng)晶面由(200)晶面向(111)晶面轉(zhuǎn)變,隨著總氣壓中氮?dú)獗壤倪M(jìn)一步上升,TiN薄膜擇優(yōu)生長(zhǎng)晶面又由(111)晶面向(200)晶面轉(zhuǎn)變;當(dāng)中氮?dú)鈿鍤饬髁勘扔?:9上升至1:2時(shí),TiN薄膜電阻率由61.3μΩ·cm逐步增加至103.1μΩ·cm;基片溫度對(duì)TiN薄膜的厚度和沉積速率無(wú)明顯影響;隨著基片溫度的上升,TiN薄膜擇優(yōu)生長(zhǎng)晶面由(200)

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