紫外激光微細加工實驗研究.pdf

1、紫外激光自出現以來，以其在材料加工中表現出來的熱效應少等優(yōu)點，成為微細加工方面的一個研究熱點。研究各工藝參數對加工質量的影響、摸索參數選擇規(guī)律具有很重要的意義。本文即采用理論分析與實驗結合的方式予以研究。
　　本文首先對紫外激光與材料的基本作用機理進行了介紹，對紫外激光加工材料時可能出現的各種消融原理和重要影響因素進行了分析，并論述了前人研究建立的數理模型，并分別對他們遇到的問題予以說明。針對紫外激光加工中的消融閾值的概念提出本文

2、的理解，通過宏觀和微觀兩個方面對其意義進行探索，建立紫外激光與材料作用過程的微觀模型框架，并通過該模型分析預測工藝參數對加工質量的影響趨勢。然后進行實驗工作，分別對藍寶石、工具鋼、鈦合金和鋁基碳化硅復合材料進行了多組對比實驗，分析工藝參數、環(huán)境條件對于加工的影響；根據摸索出的規(guī)律，結合理論分析，選取了較為合理的參數加工了一個25μm×25μm的方槽。
　　最后，為了研究紫外激光加工參數的問題，本文建立一個工藝參數庫系統(tǒng)，在 Win