基于氣動掃描測量的滑閥內(nèi)孔形狀誤差檢測技術(shù)研究.pdf

1、電液伺服閥是一種被廣泛應用于航空、航天和航海中航行器伺服控制的高精度控制器件?；y作為電液伺服閥的功率放大級,是其核心元件?；y的加工質(zhì)量直接影響到電液伺服閥的控制精度和使用性能,因此在加工過程中對其尺寸和幾何形狀精度都提出了很高的要求。用于徑向偶合的滑閥內(nèi)孔的精加工就是伺服閥生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵工藝之一,通常需要控制滑閥內(nèi)孔的形狀誤差在1μm。由于滑閥內(nèi)孔形狀復雜,相貫孔多,且容易受到熱處理變形、加工變形等因素的影響,為了保證滑閥內(nèi)孔的形

2、狀精度指標,目前實際生產(chǎn)中通常采用測量——珩磨或研磨——再測量的方式。然而我國航天航空技術(shù)的發(fā)展以及實現(xiàn)型號產(chǎn)品批生產(chǎn)都對伺服閥的加工質(zhì)量和生產(chǎn)效率提出了更高的要求,滑閥內(nèi)孔形狀測量的精度和效率也成為伺服閥生產(chǎn)中的技術(shù)關(guān)鍵之一,因此研究滑閥內(nèi)孔形狀誤差的精密檢測技術(shù)對提高我國伺服閥工藝水平有著重要現(xiàn)實意義和應用前景。
　　在深入分析伺服閥滑閥內(nèi)孔的加工工藝和幾何形狀特點的基礎(chǔ)上,提出了一種基于差動壓力式氣動測量和噴嘴擋板氣動變換特

3、性的滑閥內(nèi)孔形狀誤差氣動掃描測量方法。建立了滑閥內(nèi)孔形狀誤差的氣動掃描測量模型,根據(jù)氣動測量特性方程進行了理論計算分析,設(shè)計了系統(tǒng)測量總體方案。采用 FLUENT軟件對滑閥內(nèi)孔氣動測量的計算流體力學CFD模型進行了仿真分析,著重研究了前置節(jié)流孔和測量噴嘴的結(jié)構(gòu)尺寸等氣動測量參數(shù)對于測量線性范圍及靈敏度的影響。搭建了噴嘴擋板氣動測量實驗裝置,進行了氣動測量特性實驗研究,驗證了CFD仿真分析結(jié)果的正確性,為滑閥內(nèi)孔形狀誤差氣動掃描測量系統(tǒng)的

4、建立提供了理論參考。
　　采用氣動掃描測量的方法獲取滑閥內(nèi)孔表面采樣測量點的坐標數(shù)據(jù)后,還需要進行數(shù)據(jù)處理并計算得到內(nèi)孔的形狀誤差值。根據(jù)形狀誤差的最小條件評定準則,分別建立了滑閥內(nèi)孔圓柱度、圓度和軸心線直線度誤差的最小區(qū)域評定數(shù)學模型。提出了一種基于自適應蟻群優(yōu)化算法的計算方法對評定數(shù)學模型及其目標函數(shù)進行求解,并通過計算實例和對比分析驗證了該方法的正確性和有效性。此外,分析了形狀誤差評定不確定度的主要影響因素,提出了一種基于蒙

5、特卡羅方法的內(nèi)孔形狀誤差評定不確定度的計算方法,并通過滑閥內(nèi)孔圓度誤差測量實例對該計算方法進行了驗證分析。
　　根據(jù)滑閥內(nèi)孔形狀誤差氣動掃描測量模型和總體方案,設(shè)計并研制了差動壓力式測量氣路、氣動測量頭及其精密驅(qū)動機構(gòu)、滑閥夾具及其精密定位調(diào)整機構(gòu)等機械裝置,開發(fā)了測控系統(tǒng)硬件電路,編制了系統(tǒng)測控及形狀誤差評定計算軟件,從而建立了一套專用化的滑閥內(nèi)孔形狀誤差在位測量系統(tǒng),并以XXX-14B型滑閥為被測對象對測量系統(tǒng)進行了標定及測量

6、精度實驗研究。為了有效提高系統(tǒng)的測量精度,在測量數(shù)據(jù)預處理中提出了一種基于模糊集理論的粗大誤差判別方法,根據(jù)隸屬度函數(shù)對有效測量數(shù)據(jù)和異常值之間的模糊邊界進行分析與界定,尋求粗大誤差的評定判據(jù)。該判別方法尤其適用于測量數(shù)據(jù)少或難以尋求統(tǒng)計分布規(guī)律的自動測量過程。
　　最后,為了確知滑閥內(nèi)孔形狀誤差氣動掃描測量系統(tǒng)的精度指標,根據(jù)系統(tǒng)測量的封閉鏈特性,采用齊次坐標變換方法,建立了氣動掃描測量系統(tǒng)的幾何誤差模型。通過理論分析結(jié)合測試實