隨機散射表面掃描白光干涉信號的蒙特卡羅模擬.pdf

1、斷口表面是零件在試驗以及使用的過程中斷裂形成的形貌復雜的隨機表面,在掃描白光干涉檢測系統(tǒng)中,由于斷口表面大量分布著不同形狀和深度的凹坑,這種凹凸不平的情況使入射光發(fā)生多次反射,從而增加了實驗獲取表面完整信息的難度。蒙特卡羅方法是一種以抽樣理論及產生隨機數(shù)為基礎的隨機性方法,它是根據(jù)所需要求得的問題的潛在變化規(guī)律,又或者是這種物理現(xiàn)象本身所特有的統(tǒng)計規(guī)律,人為的方式構造出一個理論的概率模型,對該模型進行大量的實驗研究,從而使得它的某些參量

2、正好是需要求的問題的解。由于在白光干涉現(xiàn)象中,光粒子的運動本身具有隨機性,因此在本課題中運用蒙特卡羅的方法來實現(xiàn)對表面白光干涉信號進行模擬。
　　本文首先通過對白光干涉檢測系統(tǒng)、隨機表面各相關參數(shù)以及蒙特卡羅模擬的基本原理進行闡述,通過研究實現(xiàn)對隨機表面掃描白光干涉理論公式進行推導,隨后結合蒙特卡羅方法的基本原理,運用蒙特卡羅方法對隨機表面掃描白光干涉信號進行模擬,并通過仿真分析驗證了不同光源光譜分布、表面粗糙度以及系統(tǒng)中存在的噪