碳化硅承載臺磨削工藝參數的優(yōu)化研究.pdf

1、碳化硅材料性能優(yōu)良，被廣泛應用于機械制造、電子、航空航天、軍事等領域。其硬度僅次于金剛石，廣泛用于磨料的生產加工中，如有色金屬的磨削、微型軸承的超精磨等。此外，碳化硅還是防火材料、脫氧劑、耐磨及高溫件的重要原料。碳化硅材料在各領域的廣泛應用，推動著學術界和企業(yè)界對其加工過程的研究越來越深入，其中，碳化硅的加工工藝參數直接影響著加工成本和工件質量，因此，對其加工工藝參數優(yōu)化進行研究，具有非常重要的意義。
　　本文對碳化硅承載臺的磨削

2、加工試驗進行分析，以求得出影響磨頭磨損和工件表面粗糙度的重要因素，并在此基礎之上，對磨削加工工藝參數進行優(yōu)化，從而找出一套最優(yōu)的工藝參數組合。首先，對碳化硅承載臺工件進行闡述，根據相關加工理論和加工實踐經驗設計出加工工裝、磨削所用磨頭，并選擇一套合理的加工工藝。其次，基于SPSS統(tǒng)計軟件，以主軸轉速、進給速度、進給量、磨頭鍍砂粒度為影響因素，以使用磨頭個數和表面粗糙度為試驗指標，設計正交試驗;此外，還選取微晶玻璃材料進行試驗，以便與碳化