GaN功率器件自動測試系統(tǒng)的設計與實現.pdf

1、目前氮化鎵（GaN）寬禁帶半導體材料憑借著耐高電壓、耐高溫、耐輻照、抗腐蝕等優(yōu)點，以及自身高熱導率、寬帶隙、大電子漂移速度等特性迅速成為了第三代新型半導體材料，適合于生產在高溫高電壓環(huán)境下工作的高頻高效大功率器件。GaN器件自動測試系統(tǒng)是基于現有平臺，設計GaN器件封裝后的自動測試系統(tǒng)，提升測試能力和測試效率；針對GaN大功率微波器件測試參數多、器件參數水平高等特點，通過GaN大功率微波器件測試技術研究，開發(fā)以現有測試儀器設備和新增信號

2、路由單元為基礎的高集成度智能化自動測試系統(tǒng)，為全面考核、真實反映器件性能水平并極大提升測試效率提供測試技術保障。
　　本測試系統(tǒng)硬件部分以計算機（工控機）作為控制核心，基于測試開發(fā)管理軟件平臺和測試方法集，通過標準儀用總線和接口將自動測試儀器及設備、被測信號處理及分配通道組建成靈活的自動測試系統(tǒng)。首先搭建了測試系統(tǒng)的硬件組成框圖，在深入研究了傳統(tǒng)脈沖測試的脫敏現象后，利用整個頻譜來獲得更高的精度，并結合頻域的最小均方算法和時域的包

3、絡卷積算法來減少脫敏現象。同時驗證了測試需求中器件的各項參數指標，保證了測試系統(tǒng)硬件部分的可行性。
　　本測試系統(tǒng)軟件部分采用分層開放式架構進行設計，隔離不同層次的功能模塊，規(guī)定單一的數據接口進行信息交換與共享。按層次劃分，整個軟件從底層到上層分為驅動層、功能層與交互層三個層次，滿足高內聚，低耦合的原則。本測試系統(tǒng)采用單次連接多次測試（Single Connect Multiple Measurement, SCMM）技術，在保證