MEMS壓阻式壓力傳感器技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、傳感器是一種以測量為目的而被使用并且根據(jù)某些規(guī)則被轉換成可用的輸出信號的裝置或設備。它通常由轉換元件和敏感元件組成，實現(xiàn)自動控制和自動檢測。MEMS傳感器的研究始于20世紀60年代，能夠代表該技術開端的首個硅隔膜壓力傳感器和應變計分別來自于霍尼韋爾研究中心和貝爾實驗室。
　　壓力傳感器是MEMS傳感器中影響最為深遠的一類，其性能由測量范圍、測量精度、非線性度、重復性和工作溫度等決定。隨著自動化生產程度的不斷提高，對傳感器的要求也在

2、不斷提高，必須研制出具有靈敏度高、精確度高、響應速度快、互換性好的新型傳感器以確保生產自動化的可靠性。為確保工業(yè)生產自動化的可靠性和穩(wěn)定性，具有高靈敏度、高精確度、快速響應、良好互換性的新型傳感器是今后市場的主要需求。
　　當今采用MEMS技術制造的壓力傳感器，其線性度、靈敏度較之前有了很大提高，考慮到IC制造工藝及元器件的溫度特性等因素，壓力傳感器的零點誤差，溫度漂移缺點和靈敏度誤差等問題依然存在，所有就需要借助后續(xù)信號補償技術

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