掃描電子顯微成像及電子能譜的模擬研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、 我們研究了掃描電子顯微的主要信號成像、背散射電子能譜和反射電子能量損失譜。所采用的電子在固體中的MonteCarlo散射模型是：彈性散射利用的是Mott微分截面，而非彈性散射利用的是基于實驗光學常數數據的介電函數近似，并且在模擬中包含了級聯二次電子的產生?！　?在掃描電子顯微成像模擬的研究中，我們采用實體結構幾何法模型構造較為復雜的樣品結構，即將一般的空間上和化學組分上非均勻樣品分解為含有均勻組分的簡單構造體。然后對一

2、般的適用于均勻樣品的步長抽樣算法做了修正，使得可以應用于含有復雜結構的樣品。借鑒圖像學中的光線追蹤算法，得到了一系列模塊化的電子運動與各種常見的構件體的求交算法。在此基礎上再對電子散射的MonteCarlo模擬程序進行了幾種并行化處理，使之可以在各種不同的并行計算機上高效運行。 對若干理想構造樣品和實際Pt/C催化劑體系樣品，我們模擬了掃描電子顯微中的二次電子和背散射電子成像，探討了成像襯度產生機理,在反射電子能量損失譜的研究中

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