光柵式位移測頭結構設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著現(xiàn)代傳感技術與微納米測量技術的迅速發(fā)展，對高精度位移測量的需求與研究越來越多。光柵式位移傳感器以其量程大、精度和分辨率高、能用于動態(tài)測量、易于實現(xiàn)數(shù)字化、便于安裝和調整等眾多獨特的優(yōu)點越來越普遍地受到人們的關注；而市場上有售的光柵測頭仍多為國外產(chǎn)品，且價格昂貴，難以推廣應用。因此研制低成本的高精度光柵測頭具有較大的實用價值和很好的應用前景。 本學位論文自主研制了一種光柵式位移測頭；在結構設計過程中，一方面遵循了阿貝原則，另一

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