基于DVD激光頭的微位移檢測技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在精密測量時,由于測量精度要求達到微米甚至是納米級別,接觸式檢測方法容易產生彈性形變而影響測量精度,甚至對被測元件表面造成磨損,因此,非接觸式測量更利于精密檢測。非接觸式檢測方法具有測量速度快,測量精度高等優(yōu)點,故越來越廣泛的應用在精密測量中。現在市場上的非接觸測量儀器主要有電容傳感器、電感傳感器、激光干涉儀等,但是成本較高,且不易于搬運和攜帶,操作復雜,故其應用范圍比較局限。
  本文在研究數字多功能光盤( DVD)激光頭的自動

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